El vidrio de óxido de silicio UV es un material de vidrio de silicio sintético para ser usado en ultravioleta que tiene extremadamente alta transimión óptica con muy baja absorción óptica. éste tiene una excelente homogeneidad y resistencia a energía de láser de alto poder, con la habilidad de soportar temperaturas sobre los 1000°C. Tiene muy poca expansión termal y alta transmisión UV permitiéndole rápidos cambios en temperatura sin el riesgo de rotura por choque térmico.

Hay varios grados en los cuales puede estar libre de fluorescencia UV, índice de homogeneidad refractiva mejorada y grados de láser excimor para una máxima transmisión y vida prolongada en la microlitografía.